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金剛石劃片機(jī)

金剛石劃片機(jī)

品牌:德國(guó)OEG,型號(hào):MR200;

 部分客戶:清華大學(xué)、北京航空航天大學(xué)、西安光機(jī)所等;

 闡述:金剛石劃片機(jī)是一種應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè),尤其是在利用掃描電子顯微鏡(SEM)觀察硅晶圓前的準(zhǔn)備階段,理想的劃割工具。

 高質(zhì)量的光學(xué)變焦系統(tǒng),為掃描區(qū)域8倍至40倍的無(wú)級(jí)放大切換提供了保證。

 不僅如此,MR200還能為有需要的客戶,添加額外的光學(xué)和機(jī)械組件,以增加儀器性能及易用性。包括CCD相機(jī),附帶測(cè)量功能的圖像處理系統(tǒng),以及操作臺(tái)位移測(cè)量系統(tǒng)。

 MR200提供多種調(diào)整方案。


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商品描述

品牌:德國(guó)OEG,型號(hào):MR200;

 部分客戶:清華大學(xué)、北京航空航天大學(xué)、西安光機(jī)所等;

 闡述:金剛石劃片機(jī)是一種應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè),尤其是在利用掃描電子顯微鏡(SEM)觀察硅晶圓前的準(zhǔn)備階段,理想的劃割工具。

 高質(zhì)量的光學(xué)變焦系統(tǒng),為掃描區(qū)域8倍至40倍的無(wú)級(jí)放大切換提供了保證。

 不僅如此,MR200還能為有需要的客戶,添加額外的光學(xué)和機(jī)械組件,以增加儀器性能及易用性。包括CCD相機(jī),附帶測(cè)量功能的圖像處理系統(tǒng),以及操作臺(tái)位移測(cè)量系統(tǒng)。

 MR200提供多種調(diào)整方案。



 型號(hào)MR200

控制

腳步開(kāi)關(guān)控制(上/下)

晶圓承載臺(tái)角度

螺旋測(cè)微儀控制,可粗/精調(diào)節(jié),分辨率10μm0.006°

劃片力量

可調(diào)(通過(guò)氣壓閥)

晶圓承載臺(tái)旋轉(zhuǎn)

90°固定旋轉(zhuǎn)

刀頭速度

可調(diào)

X-Y位移臺(tái)

手動(dòng),有效行程200x200mm,帶有粗/精微調(diào)螺絲,精20mm/10mm

刀頭角度

可調(diào)

最大劃片距離

200mm

刀頭高度

可調(diào),以用于不同厚度的樣品

氣壓要求

6bar(對(duì)于硅晶圓,使用1.9bar)

顯微鏡

高質(zhì)量4倍變焦,放大倍數(shù)8X/40X,無(wú)極調(diào)整

光源

冷光源,環(huán)狀,220V

目鏡十字線

用于根據(jù)參考標(biāo)準(zhǔn)、結(jié)構(gòu)、邊界或其它精密調(diào)整劃線

晶圓厚度

所有硅晶圓標(biāo)準(zhǔn)厚度

光學(xué)元件分辨率

40X時(shí)優(yōu)于10μm

可切割材質(zhì)

硅、藍(lán)寶石等

晶圓承載臺(tái)

抽真空,直徑100/200mm

可選

視頻系統(tǒng)/圖像處理系統(tǒng)、可選更大放大倍率/分辨率的光學(xué)元件

 

1、 數(shù)字測(cè)量

100mm/200mm橫向移動(dòng)。25mm測(cè)微計(jì)可以由數(shù)字測(cè)微計(jì)量計(jì)替代。

可選的數(shù)字計(jì)量計(jì)測(cè)量范圍100mm/200mm,讀數(shù)10um,這個(gè)選項(xiàng)能實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)的劃線距離可以與90度旋轉(zhuǎn)的晶片夾相連,實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)的劃線。只有精定可以擴(kuò)展到100mm代替25mm100mm200mm數(shù)字計(jì)量計(jì)在結(jié)構(gòu)上有一些不同,當(dāng)100mm數(shù)字計(jì)量計(jì)通過(guò)粗定位不能測(cè)量時(shí),200mm將被使用,因?yàn)闄C(jī)械施力更高,MR200可以擴(kuò)展到500mm機(jī)械寬度。

2、 相機(jī)適配器升級(jí)套裝

CCD相機(jī)適配器升級(jí)套裝由顯微鏡組建群構(gòu)成。此外,相機(jī)和用于圖像處理的顯示器或PC是必不可少的,客戶能自行選擇。

3 、 彩色視頻系統(tǒng)

lUSB 2.0 CCD相機(jī)

l一體化計(jì)算機(jī)

l圖像處理軟件

l與相機(jī)適配器相連的升級(jí)套裝能通過(guò)目鏡和顯示器同時(shí)監(jiān)測(cè)顯微鏡圖像

圖像處理系統(tǒng)有如下的功能:

l相機(jī)圖像由顯示器直播視頻

l圖像格式JPG或者BMP,可以存儲(chǔ)、加載和文字

l十字標(biāo)線、柵格和標(biāo)尺

l可測(cè)量:距離、角度、半徑、范圍和長(zhǎng)度

4、 線寬測(cè)量

圖像處理軟件另一個(gè)擴(kuò)展工具是線寬的測(cè)量,這個(gè)模塊用于半導(dǎo)體行業(yè)高精度的寬度和距離的測(cè)量。測(cè)量是通過(guò)圖像的灰度值分布實(shí)現(xiàn)。不需要手動(dòng)設(shè)定標(biāo)記。

5、 MR200基本配置

一般來(lái)說(shuō),MR200不配備顯微鏡和光源,客戶可以自己使用自己的相關(guān)組件。顯微鏡必須有一個(gè)大約70mm的工作距離。

6、 氣動(dòng)電源發(fā)生器

電磁鐵驅(qū)動(dòng)電源,如果這種方式電力不足,可采用氣動(dòng)電源。

精確的劃線,容易的操作:晶片被裝載定位后,顯微鏡聚焦在晶片表面,通過(guò)手動(dòng)驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)的xy方向移動(dòng)。劃線能調(diào)節(jié)到參考的標(biāo)記或樣品的指定位置。高質(zhì)量的變焦顯微鏡能快速改變距離,實(shí)現(xiàn)樣品的整體視圖和詳細(xì)監(jiān)測(cè)。通過(guò)工作臺(tái)的x/y方向微調(diào)功能,能實(shí)現(xiàn)精確定位。金剛刀的著陸點(diǎn)是可調(diào)的。目鏡或顯示器的十字標(biāo)線能確定金剛刀的著陸點(diǎn),通過(guò)腳踏開(kāi)關(guān)控制升降。因此金剛刀的移動(dòng)可以通過(guò)雙手控制的。