国产成人精选视频在线观看_WWW.-级毛片线天内射视视_久久精品人成免费_亚洲综合一区国产精品_漂亮人妻洗澡被公强_国产AV丝袜旗袍无码_中文字幕无码AV波多野吉衣_老司机深夜18禁污污网站

 
  • 歡迎光臨 北京特博萬德科技有限公司 企業(yè)官網(wǎng)!
簡體中文
北京特博萬德科技
接觸角/表面張力/自由能測量儀

接觸角/表面張力/自由能測量儀

德國OEG生產(chǎn)的半導(dǎo)體行業(yè)專業(yè)的SURFTENS系列測量儀,含手動(dòng)、自動(dòng)。
 能夠精準(zhǔn)測量接觸角/表面張力/自由能。

 最大晶圓尺寸可達(dá)300mm。

 適用于晶圓鍍膜和光刻過程檢控、控制晶圓的涂層和光刻工藝、檢查硅晶圓表面潤濕能力,客觀檢測晶圓表面處理后的表面自由能,生產(chǎn)中控制技術(shù)參數(shù)、保證生產(chǎn)質(zhì)量或開發(fā)新的鍍膜技術(shù)。適用于無塵室的要求。




0.00
0.00
  
商品描述

德國OEG生產(chǎn)的半導(dǎo)體行業(yè)專業(yè)的SURFTENS系列測量儀,含手動(dòng)、自動(dòng)。
 能夠精準(zhǔn)測量接觸角/表面張力/自由能。

 最大晶圓尺寸可達(dá)300mm。

 適用于晶圓鍍膜和光刻過程檢控、控制晶圓的涂層和光刻工藝、檢查硅晶圓表面潤濕能力,客觀檢測晶圓表面處理后的表面自由能,生產(chǎn)中控制技術(shù)參數(shù)、保證生產(chǎn)質(zhì)量或開發(fā)新的鍍膜技術(shù)。適用于無塵室的要求。





型號(hào)

SURFTENS universal

(通用型)

SURFTENS HL

(專業(yè)晶圓檢測)

SURFTENS Automatic

(工業(yè)型)

SURFTENS WH30

(工業(yè)型)

手動(dòng)/自動(dòng)

手動(dòng)

手動(dòng)

自動(dòng)

自動(dòng)

測量臺(tái)

標(biāo)準(zhǔn)支承面100mm× 100mm(可拓展),高度可調(diào)(最高50mm

適用于200mm300mm晶圓的可選,樣品最厚5mm

標(biāo)準(zhǔn)測量區(qū)域200× 200mm。適用大平面(如液晶玻璃基板,8-12 英寸英寸的晶圓等)樣品最大厚度5mm,可全自動(dòng)高精度定位

3軸晶圓裝載機(jī)械臂,適用于直徑200mm300mm晶圓;200mm晶圓裝載系統(tǒng)或300mm前開式晶圓送盒;激光晶圓掃描器;真空吸盤系統(tǒng);開槽系統(tǒng)

滴液系統(tǒng)

手動(dòng)滴液,高度可調(diào),可升級(jí)雙注射器、自動(dòng)滴液系統(tǒng),添加電極驅(qū)

動(dòng)和軟件控制功能,用戶可自定義滴液量

自動(dòng)滴液(電機(jī)驅(qū)動(dòng)),軟件控制單次劑量

Automatic類似,全自動(dòng)馬達(dá),可通過編程控制液體精準(zhǔn)定位在晶圓上的滴點(diǎn)位置與滴液過程

光學(xué)系統(tǒng)

顯微物鏡0.8x(可升級(jí)1.6x/3.2x),光學(xué)傾角可調(diào)(0-6°

1倍固定放大倍率,電機(jī)驅(qū)動(dòng)對(duì)焦,光學(xué)儀器傾角

固定放大倍率,電機(jī)驅(qū)動(dòng)對(duì)焦,光學(xué)儀器傾角。高分辨率CCD相機(jī),440,000像素

附帶光學(xué)系統(tǒng),高分辨率CCD相機(jī),440,000像素

圖像采集系統(tǒng)

USB2.0相機(jī)(黑/白,130萬像素,可升級(jí)500萬像素和模擬攝像機(jī))

高分辨率CCD相機(jī),440,000像素

光照單元

長壽命高能LED燈,亮度可調(diào)

長壽命平板燈,亮度可調(diào)

長壽命平板燈,亮度可調(diào)

長壽命平板燈,亮度可調(diào)

擴(kuò)展組件

傾斜裝置(手動(dòng),最大傾斜角90°,分辨率);接觸角測量基板(一種通過使用光刻工藝顯示接觸角照片,用于核查測量儀器精度玻璃基板);恒溫箱(軟件控制,可以在高達(dá)80°進(jìn)行接觸角測量)。

傾斜裝置、接觸角測量基板、恒溫箱等

-

電熱板(清除表面遺留滴液);風(fēng)機(jī)FFU(空氣過濾)

控制軟件

主要根據(jù)滴液法,可通過不同水滴形狀的擬合方法全自動(dòng)測量水滴的 接觸角,可手動(dòng)設(shè)置基準(zhǔn),手動(dòng)測量接觸角,從兩種已知測量液體計(jì) 算測量接觸角固體的表面自由能。

主要根據(jù)座滴法,并依據(jù)不同的擬合方程(球形、
多項(xiàng)式),來實(shí)現(xiàn)液體與固體表面接觸角的全自動(dòng)測量。滴液落在晶圓表面后,被軟件自動(dòng)識(shí)別
用戶還能通過操縱桿調(diào)整,并手動(dòng)定義基線。

軟件內(nèi)含評(píng)估模塊(Wu氏理論),通過兩種已知的測量液體來計(jì)算固體的表面自由能。軟件可通過掃描接口獲得所有圖像,可自動(dòng)計(jì)算最佳的縮放比例。圖片文件可以BMP格式、JPEG格式等復(fù)制、讀取、儲(chǔ)存和打印。實(shí)時(shí)顯示接觸角的圖像(可選);測量前進(jìn)和后退接觸角(可選)全自動(dòng)檢測隨時(shí)間變化的接觸角,時(shí)間間隔自由設(shè)定,最小50ms,在圖表顯示(可選);同時(shí)測量左右接觸角,并計(jì)算中值(可選)

內(nèi)含評(píng)估模塊(Wu/OWRK理論),且測量系統(tǒng)提供液體數(shù)據(jù)庫,可供不同液體間測量比對(duì),通過測量兩種不同液體的接觸角,計(jì)算被測晶硅的表面自由能。配高性能視頻數(shù)字化板(圖像采集卡),測量數(shù)據(jù)存儲(chǔ)搭建網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器進(jìn)行數(shù)據(jù)傳輸、備份和存儲(chǔ)。軟件能自動(dòng)識(shí)別裝載端口、插槽分配情況,可區(qū)分不同尺寸的硅晶圓片并自動(dòng)分配,在測量前自動(dòng)開槽。

提供3種用戶級(jí)別選擇,可定制

軟件功能拓展

軟件內(nèi)含評(píng)估模塊(Wu/OWRK理論),能夠提供固體表面和5種以下液體的接觸角測量,并進(jìn)行表面自由能計(jì)算;軟件還能實(shí)時(shí)視頻錄像,以AVI格式保存;最后檢測的結(jié)果也可以保存為一個(gè)記錄文檔或者視頻圖像。

軟件功能拓展實(shí)時(shí)視頻圖像顯示當(dāng)前接觸角;設(shè)定檢測時(shí)間間隔,并測量與時(shí)間相關(guān)的接觸角情況,顯示在圖表上(時(shí)間間隔自由設(shè)定,最小50ms);在實(shí)時(shí)圖像上測量前進(jìn)和后退接觸角;同時(shí)測量左右兩邊的接觸角,并計(jì)算中值;測量滴液期間和滴液后液體體積。

控制器:3軸步進(jìn)電機(jī)控制器,可進(jìn)行微小步距操作,控制樣品在X/Y軸方向定位,控制滴液針頭在Z軸方向定位

控制器:3軸步進(jìn)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)晶圓承載平臺(tái),定位精度±0.05mm

接觸角測量范圍

1°-180°

1°-180°

1°-180°

1°-180°

測量分辨率

0.05°

0.05°

0.05°

0.05°

測量重復(fù)性

±0.1°

±0.1°

±0.1°

±0.1°

測量精度

±0.5°

±0.5°

±0.5°

±0.5°

液滴體積再現(xiàn)性

0.1μL(根據(jù)實(shí)時(shí)視頻圖像得出)

0.1μL(根據(jù)實(shí)時(shí)視頻圖像得出)

0.1μL

0.1μL

應(yīng)用

在特殊表面處理技術(shù)中,通過工藝特性、工藝參數(shù)的調(diào)整和生產(chǎn)控制使表面潤濕能力改變前后,客觀準(zhǔn)確地測量表面自由能。

SURFTENS universal是一套堅(jiān)固耐用、實(shí)用性強(qiáng)的接觸角測量儀器,特別適應(yīng)工業(yè)領(lǐng)域和科學(xué)研究的需求。而且該儀器操作簡單,經(jīng)過短期的培訓(xùn),任何人都能輕松使用。

SURFTENS HL是專為半導(dǎo)體工業(yè)及科學(xué)研究而開發(fā)的接觸角測量儀器,特別適用于晶圓鍍膜和光刻過程檢控。針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計(jì),客觀地測量晶圓表面處理前后的自由能,檢查硅晶圓的潤濕能力,在生產(chǎn)過程中控制技術(shù)參數(shù)、保證生產(chǎn)質(zhì)量或開發(fā)新的鍍膜技術(shù),由于系統(tǒng)的穩(wěn)定性高,特別適合作為標(biāo)準(zhǔn)儀器,用于技術(shù)控制。

針對(duì)半導(dǎo)體工業(yè)設(shè)計(jì),特別是用于控制晶圓的涂層和光刻工藝。檢查硅晶圓表面潤濕能力,客觀檢測晶圓表面處理后的表面自由能,生產(chǎn)中控制技術(shù)參數(shù)、保證生產(chǎn)質(zhì)量或開發(fā)新的鍍膜技術(shù)。適用于無塵室要求。

應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)的,專業(yè)全自動(dòng)表面張力檢測分析;實(shí)現(xiàn)自動(dòng)裝載與測量完美結(jié)合(FOUP→裝載滴液測量移液→FOUP),可應(yīng)用于無塵室中,潔凈等級(jí):100。