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德國(guó)FRT公司共焦 - 干涉三維測(cè)量?jī)xMicroSpy? 系列。
可測(cè)量wafer粗糙度、臺(tái)階高度、磨損、缺陷檢測(cè)、三維立體度 、平整度、起伏度、表面結(jié)構(gòu)、膜層翹曲度、凹凸、形貌。
v 公司簡(jiǎn)介
FRT公司成立于1995年，專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)高性能3D表面測(cè)量?jī)x器。通過(guò)設(shè)計(jì)研發(fā)各種功能傳感器，根據(jù)不同的測(cè)量任務(wù)和測(cè)量范圍選擇不同的傳感器，按需求組合成不同規(guī)模的系統(tǒng)，配套使用自主開(kāi)發(fā)的測(cè)量軟件，可廣泛應(yīng)用于測(cè)量單層及多層膜厚、TTV、應(yīng)力、形貌、結(jié)構(gòu)、缺陷、粗糙度、平整度、凹凸尺寸、彎曲度、翹曲度、磨損度、臺(tái)階高度等測(cè)量。
v 共焦顯微鏡測(cè)量原理
可見(jiàn)光通過(guò)物體表面上，通過(guò)移動(dòng)透鏡聚焦，然后重新檢測(cè)，并用檢測(cè)器捕獲。如果物體的表面在光束的焦點(diǎn)處，在這個(gè)焦點(diǎn)處接收到最大信號(hào)。通過(guò)在Z方向上逐漸移動(dòng)焦點(diǎn)（透鏡），可以獲得高度的非常精確的信息。這種點(diǎn)狀原理可以延伸到菲爾德。用旋轉(zhuǎn)尼普羅圓盤(pán)測(cè)量三維的方法得到一個(gè)完整區(qū)域的結(jié)構(gòu)和粗糙度。
v 白光干涉儀測(cè)量原理
使用FRT WLI PL相機(jī)以極接近傳統(tǒng)白光干涉方式進(jìn)行干涉圖案拍攝。通過(guò)由樣品反射的光與參考反射鏡反射的光的相干迭加產(chǎn)生了干涉圖案。為此FRT WLI PL使用特殊照明光束和寬帶光源的干涉儀設(shè)置。
光源的短相干長(zhǎng)度(干涉現(xiàn)象)導(dǎo)致空間受限的干涉圖案幅度從中心向左和向右方向減小。這種特定模式的最大優(yōu)點(diǎn)就是其重心可以直接并精確地分配給物體內(nèi)的z軸高度。
因此精確的形貌測(cè)量是沒(méi)有問(wèn)題的。對(duì)干涉圖案的詳細(xì)分析最終使分辨率能達(dá)到幾個(gè)納米。
通過(guò)垂直掃描獲得的高度信息，也就是逐步移動(dòng)的傳感器在每個(gè)步驟中都拍攝圖像。然后將圖像組合成樣品的最終圖像。
v MicroSpy? Series
MicroSpy? Topo DT是一種融合了共焦和干涉測(cè)量技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)于一體的3D測(cè)量?jī)x器。根據(jù)測(cè)量需求，它可以作為共焦顯微鏡也可以作為白光干涉儀使用。因此可以同時(shí)區(qū)分光滑的樣品和結(jié)構(gòu)復(fù)雜的樣品，快速而且不破壞樣品。研究人員在產(chǎn)品開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)控制過(guò)程中會(huì)經(jīng)常使用這種表面測(cè)量?jī)x器。
v 測(cè)量功能
粗糙度、臺(tái)階高度、磨損、缺陷檢測(cè)、三維立體度、平整度、起伏度、表面結(jié)構(gòu)、膜層翹曲度凹凸、形貌。
v 優(yōu)勢(shì)
性?xún)r(jià)比高，持久耐用，維修服務(wù)費(fèi)用低；
兩種模式下的分辨率和測(cè)量速度都極高，微米和納米級(jí)別分辨率的3D測(cè)量，用于最高要求的工業(yè)和研究的表面測(cè)量?jī)x器6角塔形結(jié)構(gòu)使它可以同時(shí)固定不同的樣品，通過(guò)簡(jiǎn)單的旋轉(zhuǎn)就能快速改變位置。
System | MicroSpy? Topo DT | Measuring Characteristics (Confocal Microscope) | 10× CFM | 20× CFM | 50× CFM | 100× CFM |
Assembly | Grand Stand | Measuring Range xy | 1920μm×1440μm | 960μm×720μm | 384μm×288μm | 192μm×144μm |
Sensor | CFM DT Field of View Sensor | Measuring Range z | 1mm(10mm optional) | 1mm(10mm optional) | 1mm(10mm optional) | 1mm(10mm optional) |
Scanning Stage |
| Resolution (lateral) | 2.46μm | 1.23μm | 0.49μm/0.42μm2 | 0.25μm/0.37μm2 |
Travel | 100mm×100mm | Resolution (vertical) | 10nm | 3nm | 2nm | 1nm |
Drive Type | Ball Screw | Numerical Aperture | 0.5 | 0.75 | 0.8 | 0.9 |
Bearing Type | Ball Bearing | Measuring Characteristics (Mirau White Light nterferometer) | 5× CFM | 10× CFM | 20× CFM | 50× CFM |
Encoder Resolution | 0.078μm | Measuring Range xy | 3840μm×2880μm | 1920μm×1440μm | 960μm×720μm | 384μm×288μm |
Flatness | ＜4μm/100mm | Measuring Range z | 4mm | 4mm | 4mm | 4mm |
Max. Speed | 25mm/s | Resolution (lateral) | 4.92μm | 2.46μm | 1.23μm | 0.49μm/0.61μm2 |
Load Capacity | 10kg | Resolution (vertical) | 1nm | 1nm | 1nm | 1nm |
Z-Axis | Motorized Axis | Numerical Aperture | 0.13 | 0.3 | 0.4 | 0.55 |
Z-Axis Travel | 50mm |
v 同系列產(chǎn)品
MicroSpy? Topo：共聚焦非接觸式顯微鏡，在納米范圍內(nèi)具有出色的高分辨率，可快速地表征3D形貌，粗糙度和輪廓，輕松處理高反射性、紋理和透明表面。
MicroSpy? Mobile：便攜式表面測(cè)量裝置，由于其重量輕，適用于大型零件、車(chē)輛、柱面、卷軸、玻璃窗等的表面粗糙度、輪廓、形貌和厚度等直接測(cè)量?？筛鶕?jù)不同的測(cè)量范圍選擇不同的傳感器。
MicroSpy? Profile：光學(xué)輪廓儀，非接觸式測(cè)量2D和3D表面，可快速可靠檢測(cè)各種從光滑到非常粗糙、從無(wú)光澤到有光澤甚至透明的表面形貌?？筛鶕?jù)不同的測(cè)量范圍選擇不同的傳感器。
MicroSpy? FT：一種光學(xué)非接觸測(cè)量?jī)x器，用于在可見(jiàn)和不可見(jiàn)光譜范圍內(nèi)透明薄膜厚度的簡(jiǎn)單測(cè)量?？筛鶕?jù)不同的測(cè)量范圍選擇不同的光學(xué)傳感器。